失效分析是對已失效器件進行的一種事后檢查。根據需要，采用電測試以及各種先進的物理、金相和化學分析技術，并結合元器件失效前后的具體情況及有關技術文件進行分析，以驗證報告的失效，確定元器件的失效模式、失效機理和造成失效的原因。全面系統的失效分析可以確定失效的原因，對于器件設計、制造工藝、試驗或應用的改進具有指導作用，采取相應的糾正措施消除失效模式或機理產生的原因，從而實現器件以及裝備整體可靠性的提高。
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